1、平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
2、主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
3、大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
4、應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
5、電子工業(yè)潔凈室按二級耐火等級設計。
6、特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室（區(qū)）分開，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M。
7、電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
8、電子工業(yè)潔凈室允許設空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按zui大班人數(shù)為30人一間設計，當工作人員超過5人時，應設旁門，當人數(shù)太多或為了縮短通過時間，也可設遂道式吹淋室。
9、對于別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
10、電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。
11、電子工業(yè)潔凈室友有對防微振的特殊要求，在廠地環(huán)境上應避開振動源。
12、電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外，對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準。